Etch processes: III - V, II - VI
GaAs - InP -
GaN - GaP - ZnO
ZnSe - ZnS -
InSb - CAIBE
of III/V's
Etch processes: Si IC , MEMS
Si
- SiO2
- SiN
- SiC
- SiGe
- Ge
Al
- SiO2/TiO2
- failure analysis
Organics Etching:
PR
- PIQ
- PMMA
- silylated PR
diamond
- BCB
- PDMS
Other Etching Processes:
PZT
- Pt,Au,Ni
- Cr
- Si/TiN
- masks
W
- Ta
- Mo
- Nb
- PbSe
- ITO
Bi2Te3
- CMT
- Al2O3
- glass
LiTaO3
- LiNbO3
Plasma Deposition: PECVD
SiO - SiN
- Si - SiC
- SiGe
DLC - Al2O3
Si Nanowires, C Nanotubes
ZnO Nanorods
Ion Beam Etch Processes
GaAs,InP - YBCO
- Ni,NiCr
Pt-Au - SiO2
- LiNbO3 - CMT
Ion Beam Deposition Processes
SiO2
- TiO2
- Ta2O5
- Al2O3
Si
- HfO2
- VaOx
- DWDM
- DLC